臭氧常溫常壓下為氣態，是一種強氧化劑，具有較高的還原電勢(EA0=2.07V)，并能氧化分解多種有毒有害物質。臭氧氧化作用或自身分解后的產物為水或氧氣，不產生二次污染，因此又被稱為“綠色的消毒劑”。
一、
臭氧滅菌柜，該結構是在蒸汽滅菌柜的基礎上，采用臭氧發生器對粉料進行滅菌。其原理是先把粉料鋪在托盤中，再放入柜內架子上，或把托盤放在移動小車 上推入柜內，再用臭氧進行滅菌。此方法需定時將托盤取出翻動粉料，以便能充分接觸臭氧，但仍有死角，保證不了臭氧和粉料的充分混合，并且費時費力，故其實 際應用價值不高。
二、臭氧雙錐混合機，該方法是把粉料加入混合機中，再將臭氧通入雙錐或二維混合機中對粉料進行滅菌。但仍有許多不足之處， 一方面因為臭氧發生器 濃度的分布不均勻，會因局部濃度過高而對粉料的目標成分和化學成分造成較大破壞；另一方面，粉料和臭氧在此結構下很難達到理想的接觸效果，存在滅菌死角。 另外，滅菌時間過長（3-4小時），也存在很大的不足，一方面不適應藥廠對滅菌工序上下道設備匹配，給生產調度帶來很大難題；另一方面，因為臭氧是一種很 強的氧化劑，長時間讓臭氧和粉料接觸，會帶來臭氧對粉料的目標成分和化學成分造成很大破壞的不良后果。故此法亦難以應用在實際生產中。
三、 臭氧粉料滅菌機，臭氧粉料滅菌機結構采用真空上料，然后經自動投料裝置進入混合選浮箱，利用氣力混合器投加高純度、高濃度臭氧，使粉料懸浮在混合懸浮箱 內，并瞬間達到滅菌濃度，經除塵裝置進行氣粉分離，潔凈的氣體通過風管經風機進入氣力混合器進行循環使用，從而達到消毒滅菌降解農藥殘留等目的，并能實現 粉料的充分混合。其設計思路符合臭氧粉料滅菌需充分混合的條件，并且滅菌*，所以在實際生產中得到了認可。
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