一般常用兩種方法制備臭氧：水處理臭氧滅菌柜紫外線輻射法和電暈放電法。紫外線發生器用于較小的水量，移動式臭氧滅菌柜相對比較簡單和經濟，但濃度較低，不超過0.1％；產量有限，一般僅為幾克/小時，效率也很低，僅適用于按摩池等小型游泳池。電暈放電法臭氧滅菌柜的效率較高、 臭氧濃度及產量也大，對于每小時循環流量在10噸以上的游泳池，應采用此類臭氧滅菌柜。
紫外線臭氧滅菌柜 大多數安裝在居民區小型游泳池和浴池的臭氧滅菌柜用紫外線燈產生臭氧。臭氧通過用波長低于200nm的紫外線照射普通空氣產生。當足夠的紫外線能量加給氧分子，小型臭氧滅菌柜氧分子就分裂為兩個自由的單原子，這些單原子與其它氧分子碰撞產生臭氧分子。
每個
臭氧滅菌柜的產率由以下幾個因素而定：紫外線的能量和波長，紫外線燈周圍的空間，溫度，濕度，以臭氧滅菌柜及空氣中的氧氣含量和通過發生器的空氣流的體積。如果一個給定系統的結構保持相對穩定，影響臭氧濃度的主要因素是空氣流速。
電暈放電法臭氧滅菌柜 干燥的氧氣或空氣通過放電間隙，在高能電磁場下，氧氣被電離成氧原子，氧原子與氧分子碰撞形成臭氧。其產率與氧的濃度、臭氧消毒柜氣體干燥度、電源頻率、介電材料的厚度、介電常數等有直接。臭氧的發生效率與氣體的干燥度成正比,與氣體中的氧濃度成正比( 臭氧產率在氧濃度為92%時zui高),與電源頻率成正比,與臭氧消毒機放電間隙成反比,與介電層厚度成反比。
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